ICM-E系列

ICM-E 系列
集成电路电子级超纯水系统
  • 系统概述
  • 水质标准
  • 工艺路径
  • 性能特点
  • 应用范围
系统概述
骇思HyperPureX ICM-E系列集成电路电子级超纯水系统以严谨的合规性指导系统的设计、制造、安装和验证的全过程,以模块化的设计集成了多介质过滤、活性炭吸附、软化、二级RO2nd、脱气、EDI、超滤、紫外杀菌和TOC降解、树脂超纯化、以及终端微滤各纯化单元,广泛应用于半导体晶圆及液晶屏清洗、芯片等各种精密电子元器件的加工和制造。
水质标准
GB/T 11446.1-2013、GB/T 33087-2016、ASTM D1193-06等规定的水质标准
工艺路径
1.  预处理系统+二级反渗透RO2nd系统+脱气系统+EDI系统+超纯化系统+储存分配系统
性能特点
10“彩色触控屏及 PLC控制模块且具有物联网(IOT)和云平台功能的全自动控制系统;
模块化设计理念,结构紧凑,便于操作及后期维护; 
整套设备可以完全排空设计;
可根据客户原水水质优化调整工艺路线; 
系统内部部分浓水可回收,可提高系统回收率至80%以上;
确保过程检验、质量监控、验证文件符合用户需求; 
应用范围
液晶面板制作、半导体晶圆、芯片等各种精密电子元器件行业的加工和制造

骇思®HyperpureX® 纯水系统,只为给您超越期待的产品和服务

  • 在ISO9001和ISO14001体系下,遵循CE质量标准进行产品的设计、开发和制造,确保品质的稳定可靠
  • 为帮助您满足行业规范要求,我们可以应要求协助提供合格证书、校准证书、质量证书、性能报告、水质合规证书等证明文件
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