上海骇思仪器

Xion 元素型纯化装置

Xion
元素型纯化装置
  • 特点与优势
  • Xion如何去除超纯水进水中的痕量离子
  • 检测数据表
  • 产品系列
系统概述
避免痕量元素污染物对分析的干扰，满足日臻严苛的超纯水要求。

骇思®Hyperpurex® Xion元素型纯化装置，可以与骇思®Hyperpurex® X系列和P系列超纯水系统联合使用，提供痕量分析级别的超纯水，适用于以三重四级杆电感耦合等离子体质谱（ICP-MS-MS）、高分辨电感耦合等离子体质谱仪（HR-ICP-MS）为代表的各种痕量和超痕量元素分析。

骇思®Hyperpurex® Xion元素型纯化装置可以对骇思®Hyperpurex® XUE-10/20UV系列 或 PU-UV系列 超纯水系统生产的超纯水进行深度纯化，进一步降低杂质水平至ppt或亚ppt级别[1]。

本装置已在具有超痕量元素分析能力的独立第三方实验室进行长期深度验证。
[1].参见“检测数据表”查看离子水平。
特点与优势

适用于超痕量元素分析的超纯水

可靠的纯水质量

  • 深度纯化后的超纯水杂质含量极低，杂质水平低至ppt或亚ppt级别[1]。
    • [1].参见“检测数据表”查看离子水平。

    严苛的工艺标准

    • 核心部件以及配套管线均采用符合SEMI F57要求的低溶出材料，有效降低新杂质引入，满足集成电路先进制程的质量要求

      科学的控制方案

      • 通过无线脚踏开关取水，避免双手触碰，降低人为因素的污染风险。

        简洁的操控系统

        • 1.54英尺的彩色显示器，实时监测取水电阻率、TOC、水温、流速、单次和累积取水量等信息。

          便捷的取水方式

          • 脚踏开关取水，完全解放双手。
            • 板按键取水，常规、定量、即时3种取水模式选择，适应不同取水需求。

              高效的集成设计

              • 高度集成的紧凑结构，适用于安装在面积不大的洁净间或层流罩中。
                • 专利的卡紧机构，使滤芯的维护更换更加轻松高效。

                  可追溯的数据管理

                  • 与XUE-10/20UV或PU-UV系列联合使用，存储5年的运行数据，包含取水水质、取水量及用户信息等数据，满足审计追踪需求，符合监管法规要求。
                    • 具有USB端口和云平台双重数据保护功能。
                      Xion如何去除超纯水进水中的痕量离子
                      Xion如何去除超纯水进水中的痕量离子
                      检测数据表
                      以下检测使用的超纯水来自骇思®Hyperpurex® XUE-10UV超纯水系统和Xion元素型纯化装置联合生产的高纯度水。
                      同位素 元素 样品(ng/L) DL(ng/L)   同位素 元素 样品(ng/L) DL(ng/L)
                      7 锂(Li) ＜DL 0.04   115 铟(In) ＜DL 0.01
                      9 铍(Be) ＜DL 0.20   118 锡(Sn) ＜DL 0.15
                      11 硼(B) ＜DL 0.50   121 锑(Sb) ＜DL 0.02
                      23 钠(Na) 0.4 0.11   126 碲(Te) ＜DL 0.07
                      24 镁(Mg) ＜DL 0.01   133 铯(Cs) ＜DL 0.00
                      27 铝(Al) ＜DL 0.04   138 钡(Ba) ＜DL 0.05
                      28 硅(Si) 317 11.72   139 镧(La) ＜DL 0.02
                      31 磷(P) 1.0 0.16   140 铈(Ce) ＜DL 0.03
                      39 钾(K) 0.4 0.29   141 镨(Pr) ＜DL 0.02
                      44 钙(Ca) 0.7 0.53   146 钕(Nd) ＜DL 0.08
                      45 钪(Sc) ＜DL 0.51   147 钐(Sm) ＜DL 0.13
                      47 钛(Ti) ＜DL 0.01   153 铕(Eu) ＜DL 0.04
                      51 钒(V) ＜DL 0.02   157 钆(Gd) ＜DL 0.13
                      52 铬(Cr) ＜DL 0.02   159 铽(Tb) ＜DL 0.02
                      55 锰(Mn) ＜DL 0.50   163 镝(Dy) ＜DL 0.07
                      56 铁(Fe) ＜DL 0.01   165 钬(Ho) ＜DL 0.02
                      59 钴(Co) ＜DL 0.16   166 铒(Er) ＜DL 0.11
                      60 镍(Ni) ＜DL 0.04   169 铥(Tm) ＜DL 0.03
                      63 铜(Cu) ＜DL 0.48   172 镱(Yb) ＜DL 0.09
                      66 锌(Zn) ＜DL 0.10   175 镥(Lu) ＜DL 0.02
                      70 锗(Ge) ＜DL 0.13   178 铪(Hf) ＜DL 0.11
                      71 镓(Ga) ＜DL 0.04   181 钽(Ta) ＜DL 0.03
                      75 砷(As) ＜DL 0.57   182 钨(W) ＜DL 0.01
                      78 硒(Se) ＜DL 0.03   185 铼(Re) ＜DL 0.15
                      85 铷(Rb) ＜DL 0.02   189 锇(Os) ＜DL 0.02
                      88 锶(Sr) ＜DL 0.02   193 铱(lr) ＜DL 0.07
                      89 钇(Y) ＜DL 0.05   195 铂(Pt) ＜DL 0.00
                      90 锆(Zr) ＜DL 0.03   197 金(Au) ＜DL 0.05
                      93 铌(Nb) ＜DL 0.10   202 汞(Hg) 0.7 0.02
                      95 钼(Mo) ＜DL 0.20   205 铊(Tl) ＜DL 0.03
                      101 钌(Ru) ＜DL 0.01   208 铅(Pb) ＜DL 0.02
                      103 铑(Rh) ＜DL 0.34   209 铋(Bi) ＜DL 0.08
                      105 钯(Pd) ＜DL 0.15   232 钍(Th) ＜DL 0.13
                      107 银(Ag) 0.1 0.08   238 铀(U) ＜DL 0.04
                      111 镉(Cd) ＜DL 0.04          

                      DL：根据IUPAC的定义计算，样品检测结果按照BEC数据换算，以超纯氩气为空白。数据来源：中国电子化学品资深检测机构

                      Xion
                      元素型纯化装置产品

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